К сожалению, Ваш браузер сильно устарел. Используйте, пожалуйста, Mozilla Firefox, Google Chrome или IE10+.
Научные семинары

27.11.2017

Основан А.М. Прохоровым в 1950 г
в Лаборатории Колебаний ФИАН

С Е М И Н А Р  № 2047

ИНСТИТУТА ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РАН

27 ноября 2017 г

    1. Ю.А. Новиков

      ФОРМИРОВАНИЕ РЭМ ИЗОБРАЖЕНИЙ В РЕЖИМЕ СБОРА ОБРАТНО РАССЕЯННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

      Представлена модель формирования изображений в растровом электронном микроскопе, работающем в режиме сбора обратно рассеянных электронов. Проведено сравнение модели с экспериментальными результатами, полученными при сканировании канавок в кремнии с прямоугольным и трапециевидным профилями с малыми и большими углами наклона боковых стенок.








Начало – в 10.00, корп. №1, конф.-зал
т. 8 499 135-5215,  (заказ пропуска понд.- четв. до 17.30, пятн. до 12.00)

 
HTML5 mode - 2018-12-18 22:23:17 - 54.236.180.104 - ru