История ИОФ РАН

Академик А.М. Прохоров

К 100-летию А.М.Прохорова

Структура института

Выборы директора ИОФ РАН

Сотрудники

Информация о зарплатах

Диссертационные советы

Аспирантура

Объявления
     Новости
     Официальные объявления
     Ученый совет ИОФ РАН
     Научные семинары
     Защиты дисcертаций
     Конференции и школы

Симпозиумы и конференции,
         проводимые ИОФ РАН


Конкурсы ИОФ РАН

Иностранный отдел

Научно-образовательный
         центр ИОФ РАН


Центр коллективного
         пользования


Инновационные разработки

Госконтракты

Труды ИОФАН

Начало лазерной эры в СССР

Применение лазеров

Вакансии

Профсоюзный комитет

Фото/видеорепортажи

Досуг

Научные электронные ресурсы

Посмотреть почту

Контакты



Справочные материалы

СОУТ

Госзакупки















    Научные семинары


[22.11.2017]

Основан А.М. Прохоровым в 1950 г
в Лаборатории Колебаний ФИАН

С Е М И Н А Р  № 2047

ИНСТИТУТА ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РАН

27 ноября 2017 г

    1. Ю.А. Новиков

      ФОРМИРОВАНИЕ РЭМ ИЗОБРАЖЕНИЙ В РЕЖИМЕ СБОРА ОБРАТНО РАССЕЯННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

      Представлена модель формирования изображений в растровом электронном микроскопе, работающем в режиме сбора обратно рассеянных электронов. Проведено сравнение модели с экспериментальными результатами, полученными при сканировании канавок в кремнии с прямоугольным и трапециевидным профилями с малыми и большими углами наклона боковых стенок.








Начало – в 10.00, корп. №1, конф.-зал
т. 8 499 135-5215,  (заказ пропуска понд.- четв. до 17.30, пятн. до 12.00)