ИОФ РАН
26.02.2020, Среда 10:30 – 12:00
Место проведения: ИОФ РАН, корп. 1, этаж 3, конференц-зал.
Повестка дня
С.А. Двинин1, О.А. Синкевич2, З.А. Кодирзода3, Д.К. Солихов3
1Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия
3Таджикский национальный университет, Физический факультет, Душанбе, Таджикистан
Особенности возбуждения электромагнитного поля в емкостном ВЧ разряде
Аналитически и с помощью математического моделирования исследуются электродинамические свойства
и пространственная структура электромагнитного поля емкостного ВЧ разряда низкого давления с
электродами большой площади при возбуждении его электромагнитным полем частотой от 13 до 800 МГц.
Показано, что для корректного расчета импеданса разряда при высоких плотностях электронов необходимо
учитывать вклад поверхностных волн, распространяющихся вдоль трехслойной структуры плазма-слой
пространственного заряда-металл и высших затухающих мод поля.
С помощью разложения поля по собственным волнам пустого волновода, а также по собственным модам
трехслойной структуры плазма-слой пространственного заряда-металл получены формулы для амплитуд
возбуждаемых в разряде волн и импеданса разряда для цилиндрической разрядной камеры полностью и
частично заполненной плазмой.
Рассмотрено влияние подводящей линии и незаполненных областей рабочей камеры на свойства разряда.
Проведена классификация резонансов и исследовано изменение структуры поля в разряде при изменении
плотности плазмы.
Полученные результаты принципиальны для разработки технологических газоразрядных реакторов на
емкостном ВЧ разряде с электродами большой площади.
________________________________________________
Заявка для участия в работе семинара: lena@fpl.gpi.ru
Тел. +7 (499) 503-87-77 доб 747 не позднее 15.00 предыдущего понедельника.
Для заказа пропуска необходимо сообщить ФАМИЛИЮ, ИМЯ, ОТЧЕСТВО (ПОЛНОСТЬЮ), МЕСТО РАБОТЫ (СОКРАЩЕННО).
Заявки принимаются не позже 15.00 предыдущего семинару понедельника.
ВНИМАНИЕ! Заявки необходимо присылать на КАЖДОЕ посещение семинара.