Please enable JS

12.05.2021 (10:30, online/offline) Семинар им. А.А. Рухадзе Теоретического отдела ИОФ РАН № 1554

30.04.2021
Заседание № 1554 семинара им. А.А. Рухадзе Теоретического отдела состоится в среду, 12 мая 2021 г., в 10.30

Семинар Теоретического отдела проходит онлайн в программе BigBlueButton ссылка для подключения
http://video.russiangenome.ru/b/hqw-jn9-z2d (администратор Гусейн-заде Н.Г.). Доступ открывается за 10 минут до начала семинара.
При подключении ввести в соответствующие поля ФИО. Для участия в дискуссии необходимо иметь микрофон и наушники.
Докладчик сможет подключить презентацию в pdf формате, есть режим демонстрации экрана.
Для сотрудников ИОФ РАН возможно очное участие в семинаре в конференц-зале корпуса № 9.

Повестка дня:

В.В. Ковалев
МИРЭА - Российский технологический университет

Светодиодный эллипсометр со статичной схемой измерения оптических констант и толщин тонких пленок

Исследование посвящено реализации модифицированного метода статической СЭ, при котором в измерительном тракте не используются
подвижные поляризационные элементы. Сформулирована научная задача, заключающаяся в разработке информационно-измерительной
системы контроля оптических констант и толщин тонких пленок, которая реализует модифицированный метод спектральной
эллипсометрии со светодиодным широкодиапазонным источником излучения, обеспечивающей снижение погрешности и повышение
сходимости измерений эллипсометрических параметров. Приведена методика экспериментальных исследований, метрологическая
оценка характеристик ИИС, а также результаты экспериментов, подтверждающих полученные теоретические характеристики.
В качестве естественного развития работы, в дальнейшем предполагается использование предложенной простой конструкции СЭ
совместно с щелевыми монохроматорами и импульсными источниками излучения. Новый подход, развиваемый в работе, существенно
расширяет измерительные возможности чувствительных эллипсометров с переключением ортогональных состояний поляризации.
Исключение низкочастотных модуляторов поляризации уменьшает потери интенсивности пучков, упрощает конструкцию СЭ и позволяет
существенно увеличить скорость эллипсометрических измерений с использованием скоростных импульсных источников излучения.

Другие записи