08.06.2022 (10:30) Семинар им. А.А. Рухадзе Теоретического отдела ИОФ РАН. Заседание № 1582

Экспериментально изучены параметры емкостного ВЧ разряда, зажигаемого в геометрии УЗДП при различных схемах организации разряда, а именно, при разомкнутых и замкнутых по постоянному току электродов, а также при дополнительной подаче постоянного смещения на нагруженный электрод. В разомкнутой схеме реализуется минимальная концентрация плазмы, энергия ионов в струе на выходе из прототипа составляет величину порядка 25 эВ. Замыкание по постоянному току нагруженного электрода увеличивает как плотность плазмы, так и энергию ионов до 250 эВ. Дальнейшее увеличение или уменьшение этих параметров возможно при подаче соответственно положительного или отрицательного постоянного смещения на нагруженный электрод. Импеданс разряда имеет резонансный характер. Были исследованы параметры разряда в зависимости от рабочей частоты и величины внешнего магнитного поля. Показано, что магнитное поле слабо влияет
на характеристики разряда. Для объяснения полученных результатов была создана  математическая модель исследуемого разряда. Модель показала неприменимость классического описания проводимости плазмы в скрещенных электрическом и магнитном полях.