ИОФ РАН
Заседание № 1659 семинара им. А.А. Рухадзе теоретического отдела состоится в среду, 18 декабря 2024 г., в 10:30
Семинар ТО проходит в смешанном режиме. Для сотрудников ИОФ РАН и докладчиков — в конференц-зале корпуса № 1, для гостей — онлайн.
Семинар будет проходить с использованием сервиса Zoom.
По вопросам выступления на семинаре, заказа пропусков (желательно не позже, чем за два дня) и участия в онлайн формате обращаться к Таракановой Елене Николаевне lena@fpl.gpi.ru
Повестка дня:
1. Мяконьких Андрей Валерьевич (Физико-технологический институт им. К.А. Валиева)
Фундаментальные основы плазменных технологий структурирования для наноэлектроники (по материалам докторской диссертации)
В работе исследуются теоретически и экспериментально ключевые плазменные и плазмостимулированные технологические процессы формирования интегральных схем, в том числе прецизионное травление кремния, глубокое травление кремния, новые циклические процессы травления без использования полимеризации (окисление-травление и нитридизация травление), атомно-слоевое осаждение, травление пористых диэлектриков.
При проведении исследований важную роль играла диагностика плазмы (метод электростатического зонда Ленгмюра и оптическая эмиссионная спектроскопия), а также развитые в работе методы диагностики наноструктур, реализуемые in situ и ex situ (спектральная эллипсометрия, интерферометрия, абсорбционная порометрия).