по специальности 05.27.06 – "технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники".
Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном учреждении науки Институте общей физики им. А. М. Прохорова Российской академии наук
Научный руководитель:
• кандидат химических наук
Кузнецов Сергей Викторович
Официальные оппоненты:
• доктор химических наук, доцент
Морозов Игорь Викторович,
Химический факультет, "Московский государственный университет
им. М.В. Ломоносова", ведущий научный сотрудник
"МЭИ";
• доктор химических наук Егорышева Анна Владимировна, Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук, ведущий научный сотрудник.
Ведущая организация: Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана
Телефон для справок: +7 8 499 503-8394
Сайт ИОФ РАН www.gpi.ru