ИОФ РАН
Семинар Научного центра волновых исследований (НЦВИ) состоится 22 апреля 2026 г. в 15:00, в конференц-зале ИОФАН, корпус 1, этаж 3.
Доклады:
1. Д. А. Антипов, Е. Д. Шевелкина, Е. В. Бармина, А. А. Гавдуш, А. К. Зотов и К. И. Зайцев
Лазерное структурирование высокорезистивного кремния для создания антиотражающих покрытий ТГц диапазона
Аннотация
Создание высокоэффективной оптики является важной задачей для развития терагерцовых (ТГц) технологий. Высокорезистивный кремний (HRFZ-Si) широко применяется в данной области, благодаря сочетанию большого окна прозрачности, отсутствия дисперсии показателя преломления и рекордно низких потерь на поглощение. Однако высокий показатель преломления кремния (n ≈ 3,41) приводит к значительным потерям на отражение (около 30% от одной поверхности), что ограничивает эффективность оптических систем.
В докладе рассматриваются аналитические расчеты и на их основе практическая реализация технологии формирования антиотражающих структур на HRFZ-Si подложках методом прецизионного наносекундного лазерного перфорирования. Предложенный подход основан на создании субволновых регулярных матриц микроотверстий, формирующих композитный слой с заданным эффективным показателем преломления. Оптимизация параметров структуры (периода, диаметра и глубины микроотверстий) в рамках теории эффективной среды (модель Бруггемана) позволяет прецизионно настраивать просветляющие свойства под конкретные ТГц частотные диапазоны.
Разработанный метод открывает новые перспективы в производстве линз, окон и фильтров для широкополосных ТГц-систем c коэффициентом пропускания до 96%, обеспечивая сочетание механической стойкости покрытий и высокой прозрачности оптических элементов.